質(zhì)譜室不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動后，超聲波檢漏儀按照質(zhì)量大小將它們依次分開排列的技術(shù)。利用質(zhì)譜原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀或質(zhì)譜計。專門檢漏用的質(zhì)譜儀叫質(zhì)譜檢漏儀。由于多數(shù)示漏氣體選擇用氦氣，所以允許把分辨率調(diào)試得較低而靈敏度調(diào)的很高。

氦質(zhì)譜檢漏儀是目前國際公認(rèn)、用的*廣、靈敏度很高的一種檢漏儀器，超聲波檢漏儀超聲波其中用得*多的是90°和180°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜儀：近些年來，四極質(zhì)譜計在檢漏儀中也得到了較多的應(yīng)用。20世紀(jì)60年代，我國氦質(zhì)譜檢漏儀性能已達到******。在以后的四十多年中，實用檢漏技術(shù)的應(yīng)用水平有了長足發(fā)展，儀器的自動化、小型化、可靠性等也有了很大提高，超聲波檢漏儀不僅滿足了國內(nèi)需要，而且還銷往國外。氦質(zhì)譜檢漏儀除靈敏度高外，還具有適應(yīng)范圍廣、定位丁來給準(zhǔn)確、五毒、**、反應(yīng)速度快等特點。

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