將封裝好的器件放入密封實(shí)驗(yàn)箱，將光學(xué)干涉儀調(diào)整到觀測(cè)封裝的蓋帽。然后將實(shí)驗(yàn)箱抽真空，超聲波檢漏儀同時(shí)用光學(xué)干涉觀測(cè)蓋帽是否變形。在視野內(nèi)，超聲波檢漏儀同時(shí)觀測(cè)每一只封裝的蓋帽是否隨壓力變化而變化。在減小的壓力下保持時(shí)間t1，其蓋帽有無(wú)繼續(xù)變形。如果開(kāi)始時(shí)隨著實(shí)驗(yàn)箱壓力改變，未檢測(cè)到蓋帽變形，或子啊實(shí)驗(yàn)箱壓力保持恒定的情況下，超聲波檢漏儀檢測(cè)到蓋帽變形，則器件粗檢漏不合格，應(yīng)該拒收。上述程序?yàn)楣鈱W(xué)粗檢漏。

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