將封裝好的器件放入密封實(shí)驗(yàn)箱，將光學(xué)干涉儀調(diào)整到觀測封裝的蓋帽。然后將實(shí)驗(yàn)箱抽真空，同時用光學(xué)干涉儀觀測蓋帽是否變形。在視野內(nèi)，同時觀測每一只封裝的蓋帽是否隨壓力變化而變化。在減小的壓力下保持時間T1，其蓋帽有無繼續(xù)變形。如果開始時隨著實(shí)驗(yàn)箱壓力改變，未檢測到蓋帽變形，或在實(shí)驗(yàn)箱壓力保持恒定的情況下，檢測到蓋帽變形，則器件粗漏不合格，應(yīng)該拒收。上述程序?yàn)楣鈱W(xué)粗檢漏。

該實(shí)驗(yàn)也用于細(xì)檢漏，其程序與粗檢漏類似。具體做法是，前半段與粗檢漏一樣。在粗檢漏實(shí)驗(yàn)程序完成后，再隨實(shí)驗(yàn)箱用氦氣加壓，壓力不大于2*10Pa。然后用光學(xué)干涉儀在時間T2觀測其蓋帽是否變形。若有變形，則器件細(xì)檢漏不合格，應(yīng)該拒收。

該發(fā)只適用于薄形蓋帽封裝（一般金屬蓋帽的厚度小于0.6MM）。實(shí)驗(yàn)靈敏度與蓋帽變形的程度有關(guān)，即與蓋帽的材料種類、幾何尺寸有關(guān)，只符合下列數(shù)值的器件才能進(jìn)行這種方法的檢漏。

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