氦質(zhì)譜檢漏儀的一個(gè)新發(fā)展是逆流檢漏的出現(xiàn)，超聲波檢漏儀此儀器的優(yōu)點(diǎn)是：由于它的質(zhì)譜室是處在高真空一側(cè)，被檢件則接在前級(jí)位置，因此能在較低的真空度下對(duì)被檢件進(jìn)行檢漏，超聲波檢漏儀且減少了被檢件中的污物對(duì)質(zhì)譜室的污染。這種儀器是根據(jù)擴(kuò)散泵各級(jí)噴嘴的壓縮比與氣體質(zhì)量有關(guān)的質(zhì)量有關(guān)的原理制成的。其中，氣體質(zhì)量越小，壓縮比也越小，多級(jí)壓縮可達(dá)到對(duì)氦為10，對(duì)空氣中的其他氣體成分為10的四次方-10的六次方。當(dāng)質(zhì)譜計(jì)管接在泵的入口處，被檢件接在泵的前級(jí)管道時(shí)，氦氣通過漏孔進(jìn)入前級(jí)管道后，仍有部分氦氣逆流到質(zhì)譜計(jì)管中去，超聲波檢漏儀并給出漏氣信號(hào)。對(duì)逆擴(kuò)散檢漏儀來說，靈敏度沒有明顯的降低。

逆擴(kuò)單原理的優(yōu)越性，包括不用液氮，因此降低成本，并取消了危險(xiǎn)物品的使用。另外減少了抽氣時(shí)間，可在1000-10Pa的壓強(qiáng)范圍內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)，在店里系統(tǒng)大系統(tǒng)檢漏時(shí)，發(fā)揮其特長。

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