源自美國**科技的KMbalancer現(xiàn)場動平衡儀--渦輪分子泵的概述
泵的轉(zhuǎn)速為10000~50000r/min該泵主要用作高真空泵和超高真空泵,
渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。現(xiàn)場動平衡儀該泵的工作壓力范圍為1~10-8Pa抽氣速率一般在500L/s以下。但不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。泵的主要性能與配置的前級泵的容量、泵的轉(zhuǎn)速、被抽氣體的種類有關(guān)。分子泵對較輕的氣體抽速較大,對氫的抽速比空氣的抽速大20%
渦輪分子泵與其他高真空泵和超高真空泵相比較具有以下優(yōu)點。
1極限壓力低,先進的泵可以獲得10-9Pa極限壓力。
2工作壓力范圍寬,九個數(shù)量級的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速。
3結(jié)構(gòu)緊湊,現(xiàn)場動平衡儀由置于泵體內(nèi)的中頻電機直接驅(qū)動,渦輪轉(zhuǎn)子未整體式結(jié)構(gòu)。
4一種少油泵,既不像其他機械泵那樣由油作工作液,也不用油來密封,現(xiàn)場動平衡儀只是其轉(zhuǎn)子仍然用油來潤滑,可能有少量潤滑油會進入被抽系統(tǒng),
5泵的振動小、噪聲低、工作平穩(wěn)、啟動時間短,一般在4~15min內(nèi)能達到滿抽速。
6對大分子量的氣體有較高的壓縮比,且中頻電機置于前級空間,能獲得清潔的高真空和超高真空,另外利用對氦壓縮比低的特點,可在逆擴散型的氦質(zhì)譜檢漏儀中做主泵使用。
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